Zoom system for illumination apparatus,申请号EP20020018978-传众专利搜索

发明名称	Zoom system for illumination apparatus
摘要
申请公布号	EP1291720(B1)	申请公布日期	2006.06.21
申请号	EP20020018978	申请日期	2002.08.27
申请人	CARL ZEISS SMT AG	发明人	KOEHLER, JESS;WANGLER, JOHANNES
分类号	G03F7/20;G02B15/14;G02B15/177	主分类号	G03F7/20
代理机构		代理人
主权项
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