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发明名称 EQUIPMENT FOR INSPECTING A HEIGHT OF STEPPED PORTION
摘要
申请公布号 KR20060068966(A) 申请公布日期 2006.06.21
申请号 KR20040107931 申请日期 2004.12.17
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KANG, KYUNG SOO;LEE, BYUNG AM;YOON, YEO GUK;LEE, YOUN SUB;KANG, DAE HYUN
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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