发明名称 PRECISION POLYSILICON RESISTOR PROCESS
摘要
申请公布号 EP1671362(A2) 申请公布日期 2006.06.21
申请号 EP20040789451 申请日期 2004.09.30
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 COOLBAUGH, DOUGLAS, D.;GREER, HEIDI, L.;RASSEL, ROBERT, M.
分类号 H01L21/02;H01L;H01L21/302;H01L21/461;H01L27/07;H01L27/08;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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