| 发明名称 | 多层膜反射式高精度金属圆光栅及其制作方法 | ||
| 摘要 | 多层膜反射式高精度金属圆光栅，其特征在于：包括金属基板，在金属基板上蒸镀至少4层膜的膜层，其膜层顺序为介质膜、亮线条、介质膜、暗线条，其制作方法如下：(1)光栅金属基坯材料，如不锈钢、钛合金等抗腐蚀性好的材料经失效、粗磨、光学抛光至金属镜面；(2)在金属镜面上真空蒸镀多层所需要的金属膜层；(3)在蒸镀好的金属膜层表面涂上光刻胶；(4)通过光化学反应从高精度玻璃光栅上复制、腐蚀出高、低反射率线条的接近母版精度的高精度圆光栅。本发明适用于高精度角度编码器，且结构简单、成本低、强度高。 | ||
| 申请公布号 | CN1790068A | 申请公布日期 | 2006.06.21 |
| 申请号 | CN200510130717.9 | 申请日期 | 2005.12.23 |
| 申请人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明人 | 周花;李代学;岳永坚;余光清;代冬军;张鑫;梁跃兵 |
| 分类号 | G02B5/18(2006.01);G03F7/20(2006.01);G03F7/004(2006.01) | 主分类号 | G02B5/18(2006.01) |
| 代理机构 | 北京科迪生专利代理有限责任公司 | 代理人 | 刘秀娟;成金玉 |
| 主权项 | 1、多层膜反射式高精度金属圆光栅，其特征在于：包括金属基板，在金属基板上蒸镀至少4层膜的膜层，其膜层顺序为介质膜、亮线条、介质膜、暗线条。 | ||
| 地址 | 610209四川省成都市双流350信箱 | ||