| 发明名称 | 利用含硝酸盐的前体淀积原子层 | ||
| 摘要 | 在原子层淀积工艺中使用含金属硝酸盐的前体，形成例如金属、金属氧化物和金属氮化物等含金属的膜，这些膜具有原子突变界面和优异的均一性。 | ||
| 申请公布号 | CN1260403C | 申请公布日期 | 2006.06.21 |
| 申请号 | CN00125992.X | 申请日期 | 2000.10.16 |
| 申请人 | 国际商业机器公司 | 发明人 | 斯蒂芬·M·盖茨;德伯拉·A·纽梅尔 |
| 分类号 | C30B25/02(2006.01);C23C16/06(2006.01);C23C16/30(2006.01);H01L21/20(2006.01) | 主分类号 | C30B25/02(2006.01) |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 王永刚 |
| 主权项 | 1、一种在衬底上形成含金属薄膜的方法，包括原子层淀积工艺，其中在容纳有所说衬底的反应器中引入含金属硝酸盐的前体和共反应气体。 | ||
| 地址 | 美国纽约 | ||