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发明名称
Vacuum arc vapor deposition process and apparatus
摘要
申请公布号
EP1316986(B1)
申请公布日期
2006.06.21
申请号
EP20020026683
申请日期
2002.11.29
申请人
NISSIN ELECTRIC CO., LTD.
发明人
MURAKAMI, YASUO;MIKAMI, TAKASHI;OGATA, KIYOSHI;MURAKAMI, HIROSHI
分类号
C23C14/24;H01J37/32;C23C14/32;H05H1/50
主分类号
C23C14/24
代理机构
代理人
主权项
地址
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