| 发明名称 |
Methods of measuring and manufacturing an optical element having an optical surface |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2421302(A) |
申请公布日期 |
2006.06.21 |
| 申请号 |
GB20050023991 |
申请日期 |
2005.11.25 |
| 申请人 |
CARL ZEISS SMT AG |
发明人 |
GUENTHER SEITZ;BERND DOERBAND;FRANK HOELLER |
| 分类号 |
G01B11/24;G01B9/02;G01J9/02 |
主分类号 |
G01B11/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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