| 发明名称 |
Angular aperture shaped beam system and method |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1524681(A3) |
申请公布日期 |
2006.06.21 |
| 申请号 |
EP20040077809 |
申请日期 |
2004.10.13 |
| 申请人 |
FEI COMPANY |
发明人 |
GERLACH, ROBERT L.;UTLAUT, MARK |
| 分类号 |
G21K5/04;H01J37/317;H01J37/09;H01J37/153;H01J37/30;H01J37/305;H01J37/31 |
主分类号 |
G21K5/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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