发明名称 BAKE APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20060068073(A) 申请公布日期 2006.06.21
申请号 KR20040106009 申请日期 2004.12.15
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 LEE, GI HO
分类号 H01L21/324 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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