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发明名称
METHOD FOR FORMING THE COPPER INTERCONNECTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
KR20060067746(A)
申请公布日期
2006.06.20
申请号
KR20040106644
申请日期
2004.12.15
申请人
DONGBU ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
CHUN, IN KYU
分类号
H01L21/28
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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