发明名称
摘要
申请公布号 KR100559062(B1) 申请公布日期 2006.06.19
申请号 KR19980019618 申请日期 1998.05.29
申请人 发明人
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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