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发明名称 CMP PAD HAVING AN OVERLAPPING STEPPED GROOVE ARRANGEMENT
摘要
申请公布号 KR20060067140(A) 申请公布日期 2006.06.19
申请号 KR20050114711 申请日期 2005.11.29
申请人 ROHM AND HAAS ELECTRONIC MATERIALS CMP HOLDINGS, INC. 发明人 ELMUFDI CAROLINA L.;MULDOWNEY GREGORY P.
分类号 H01L21/304;B24D99/00 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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