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发明名称
APPARATUS FOR TRANSFER A SEMICONDUCTOR SUBSTRATE AND EQUIPMENT FOR MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR SUBSTRATE HAVING THE SAME
摘要
申请公布号
KR20060066771(A)
申请公布日期
2006.06.19
申请号
KR20040105237
申请日期
2004.12.14
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
CHOI, YOUNG JIN;JEON, SEONG EOK;CHA, KIL SEOK;SEOL, HYUN SU
分类号
H01L21/68
主分类号
H01L21/68
代理机构
代理人
主权项
地址
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