发明名称 Method for examining the defect of gate oxide layer in semiconductor device
摘要
申请公布号 KR100591149(B1) 申请公布日期 2006.06.19
申请号 KR20030098360 申请日期 2003.12.27
申请人 发明人
分类号 H01L21/66;H04Q9/00 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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