MANUFACTURING METHOD OF SILICON ON INSULATOR WAFER,申请号KR20050037970-传众专利搜索

发明名称	MANUFACTURING METHOD OF SILICON ON INSULATOR WAFER
摘要
申请公布号	KR20060067101(A)	申请公布日期	2006.06.19
申请号	KR20050037970	申请日期	2005.05.06
申请人	ELECTRONICS AND TELECOMMUNICATIONS RESEARCH INSTITUTE	发明人	KWON, SUNG KU;ROH, TAE MOON;KIM, JONG DAE
分类号	H01L27/12;H01L21/20;H01L21/265	主分类号	H01L27/12
代理机构		代理人
主权项
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