发明名称 Silicide formation method of semiconductor device
摘要
申请公布号 KR100591119(B1) 申请公布日期 2006.06.19
申请号 KR20030054650 申请日期 2003.08.07
申请人 发明人
分类号 H01L21/24 主分类号 H01L21/24
代理机构 代理人
主权项
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