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发明名称
利用电子束将基材上之墨水固化的装置与方法
摘要
本发明的第一态样,提供有一种固化方块图上油墨的方法。该方法包括步骤(1)把基片放在油墨固化室的支承台上;和(2)在位于油墨固化室中的基片表面上扫描电子束以固化存在基片上的油墨。本发明也提供许多其他的态样。
申请公布号
TW200619689
申请公布日期
2006.06.16
申请号
TW094138876
申请日期
2005.11.04
申请人
应用材料股份有限公司
发明人
怀特约翰M WHITE, JOHN M.;史勋祥;上泉元;栗田真一;吉鸿宾;佐兹威克绢兹;黄颖泉;比尔伊曼纽
分类号
G02B5/23
主分类号
G02B5/23
代理机构
代理人
蔡坤财
主权项
地址
美国
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