扫描型曝光用光源单元

摘要

本发明的课题是提供小型轻量又高可靠性的扫描型曝光用光源单元。其解决手段：扫描型曝光用光源单元是一面对基板上的曝光面平行地相对移动一面于曝光面照射光。光源单元是具备复数光源。复数光源是沿着横跨相对移动的方向所排列。各该光源是包含发光单元1。发光单元1是至少具有一个半导体面发光元件5。将复数半导体面发光元件5集合成六角形，当将所发出的光射入于光学六角柱6，则照度均匀的六角形的照射领域获得于曝光面上。