首页
产品
黄页
商标
征信
会员服务
注册
登录
全部
|
企业名
|
法人/股东/高管
|
品牌/产品
|
地址
|
经营范围
发明名称
曝光装置及元件制造方法
摘要
提供一种能抑制液体残留之曝光装置。本发明之曝光装置,具备:能保持基板移动之基板载台,能与基板载台分开独立移动之测量载台,以及在基板载台及测量载台之至少一载台上面形成液体之液浸区域的液浸机构。在测量载台上面,设有能回收液体之回收口。
申请公布号
TW200619868
申请公布日期
2006.06.16
申请号
TW094138185
申请日期
2005.10.31
申请人
尼康股份有限公司
发明人
柴崎佑一;藤原朋春
分类号
G03F7/20
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
林镒珠
主权项
地址
日本
您可能感兴趣的专利
UKLAD ZABEZPIECZEN ZURAWIA
ZASILACZ HYDRAULICZNY
UKLAD REALIZUJACY DZIELENIE PRZEZ DWA W KODZIE BINARNODZIESIETNYM
BETA-ANILINO-ALFA-BENZYLAKRYLONITRILFORBINDELSER FOR BRUK SOM MELLOMPRODUKTER VED FREMSTILLING AV 2,4-DIAMINO-5-BENZYL-PYRIMIDINER
DRAKT MED FORLENGET TETNING.
FREMGANGSMAATE FOR REGULERING AVKOMPRESJONSVIRKNINGEN I AVVEN ANNINGSPRESSER OG ANORDNING FOR UTFOERELSE AV FREMGANGSMAAT
MIDDEL TIL BEKJEMPELSE AV SOPPER OG MIDDER
Apparat til kontinuerlig adskillelse af frugtkødet fra kerner og skal, navnlig ved vindruer.
FREMGANGSMAADE TIL TILSLOERING AF TALESIGNALER VED HJAELP AF ORTOGONALE MATRIXER
METHOD OF AND DEVICE FOR PREVENTING FIRE BY SPRINKLING AND WARNING AT ONCE UPON OCCURRENCE OF FIRE
DICHLOROSILAN PRODUCING METHOD
COMPOSITION
METHOD OF PRODUCING 2,4-DIMETHYL-3-CARBOXANYLIDFURAN
FOAM-BREAKING DEVICE
CONTROL KNOB
BETATRON
DEVICE FOR AUTOCORRELATION RECEPTION OF COMPOSITE SIGNALS OF EQUIDISTANT FREQUENCIES
QUICK-ACTION COUNTER
ARRANGEMENT FOR COMPARING FREQUENCIES OF TWO PULSE TRAINS
PULSE TRAIN SHAPING ARRANGEMENT