微影装置,包含一照明系统的装置,包含一投影系统的装置,用于微影装置的光学元件及器件制造方法

摘要

本发明系关于一种微影装置，其包含：一照明系统，其经配置以调节一辐射束；一支撑件，其经建构以支撑一图案化器件，该图案化器件能够在辐射束之横截面上赋予辐射束一图案以形成图案化辐射束；一基板台，其经建构以固特基板；及一投影系统，其经配置以将图案化辐射束投影于基板之目标部分上，其中在使用时经历热负荷之装置中的至少一组件具有一整体安装之加热元件，该加热元件经配置以维持该组件处于大体上恒定之温度。以此方式，避免对组件之加热及冷却效应。此外，因为组件经受减小之热梯度，所以经历较小之光学失真。