矽晶微麦克风之制作方法

摘要

本发明系一种矽晶微麦克风之制作方法，该矽晶微麦克风系以半导体制程与矽微细加工制作而成，其主要包含有一具有一共振室之矽基板、一振动膜、一设有若干音孔之背板，以及一金属焊垫，制作容易，成本低廉，且适于大量生产。