| 摘要 |
本创作系一种XYθz自走式微／奈米精度平台，系包括一个八角形外平台、一位移致动平台、三组挠性铰链组、三个压电陶瓷致动器固定槽、三个板式弓型弹簧，藉由线切割加工方法，切割成一体成型。系利用瞬间脉冲电压讯号驱动三个压电陶瓷致动器，使压电陶瓷致动器所产生之瞬间脉冲力量冲击板式弓型弹簧，即可使XYθz自走式微／奈米精度平台产生移动，若给予持续性的电压脉冲讯号输入压电陶瓷致动器，随着时间越久XYθz自走式微／奈米精度平台位移范围逐渐增大，且用三个不同的电压脉冲讯号分别驱动三个压电陶瓷致动器作不同的驱动变化，该XYθz自走式微／奈米精度平台即可产生三个自由度X、Y、θz的位移运动。 |
