| 发明名称 |
Procédé de production des couches minces par dépôt à l'aide de pulvérisation |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR1459893(A) |
申请公布日期 |
1966.06.17 |
| 申请号 |
FR19650029001 |
申请日期 |
1965.08.20 |
| 申请人 |
BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT;SIEMENS-SCHUCKERTWERKE AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
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| 分类号 |
C23C14/22;C23C14/34;C23C14/35;H01J37/305;H01J37/34 |
主分类号 |
C23C14/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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