半导体测试设备之处置器之传送装置

摘要

一种半导体测试设备的处置器的传送装置，其中每一捡出器吸头问的间距可调整至任意距离而不用更换凸轮盘，该处置器的传送装置包括一基座；复数个捡出器吸头用以固定／卸除半导体，其位于基座上并相对其水平移动；一凸轮盘，位于基座上且相对其移动，复数个凸轮槽倾斜于其中；复数个连接部分，其中每一连接部分的第一侧面都固定在捡出器吸头上，每一连接部分的第二侧面都与每一凸轮槽活动连接，以连接每一捡出器吸头和每一凸轮槽；及一驱动单元，驱动凸轮盘往复运动，以使捡出器吸头变换至基座的任意位置。