微型振荡元件(二) MICRO OSCILLATING ELEMENT

摘要

一种微型振荡元件系一体形成自一由一第一导电层、一第二导电层及一设在该第一导电层与该第二导电层只间的绝缘层组成的材料基板，此微型振荡元件包含一振荡部分、一振荡部分支撑框架、及一扭力接合部分。该振荡部分包含一可移动功能部，该扭力接合部分接合该振荡部分该框架、并亦定义该振荡部分之振荡动作的一振荡轴，该可移动功能部是形成于该第一导电层的一构件，同时该框架是形成于该第二导电层的一构件。