波导型光控制元件及其制造方法

摘要

本发明系一种波导形光控制元件，具有：光导波路，由具有电光学效果或热光学效果的绝缘体材料所构成；及控制用电极，接触或接近光导波路装设；且光导波路的传送损失在波长1.3～1.6μm为1dB／cm以下；其特征为藉由载体电子浓度为5.5×10^20个／cm^3以下且电阻率为9.5×10^–4Ωcm以下的导电性氧化物膜，构成上述控制用电极，导电性氧化物膜的波长1.55μm的光波之衰减系数为0.240以下。