利用一抗反射层制造半导体元件之系统与方法

摘要

一种用来制造半导体元件之抗反射层，于一实施例中，一部份半导体元件包含一基底；一底部抗反射层位于该基底上，并且该底部抗反射层于一黄光暨蚀刻制程中由疏水性转换为亲水性；以及一光阻层位于该底部抗反射层上。094142167-p01.bmp