| 摘要 |
本发明的目的系为提供一种处理液供给装置，其能够承受由流量控制手段所控制的流量中之误差。于处理液供给装置1之中，供自化学液体供给源10的化学液体和供自纯水供给源20的纯水系在混合部30中相互混合藉以制备处理液，且将该处理液供给到作为要处理的物体之基板W。利用装设在化学液体供给管11中的恒流泵17，可控制流到混合部30内的化学液体之流量。利用分别装设在处理液供给管35和36中的恒流阀39和40，可控制从处理液供给部41和42流到该基板W的处理液之流量。由于此控制，可以将处理液中的化学液体浓度控制到预定的值。 |
