| 摘要 |
一种用以运作一制程工具的即时预估量测系统架构，该即时预估量测系统包括一资料撷取系统、一虚拟量测系统、一错误侦测与分类系统以及一先进制程控制系统。该资料撷取系统透过该制程工具或耦接在该制程工具上的复数个感测器，接收关于一工作部件之制程的资料，其中该被接收的资料包括用以表示该制程的复数个变数的复数个量测值。该虚拟量测系统用以接收该资料，以及透过该制程工具或耦接在该制程工具上的复数个感测器预测该工作部件的复数个结果，该虚拟量测系统产生表示该等结果的至少一个的一第一输出。该错误侦测与分类系统，用以接收该资料且产生表示该处理工具的一运作状态的至少一个的一第二输出。该先进制程控制系统，用以接收该至少一个的第一输出与该至少一个的第二输出，且根据该至少一个的第一输出与该至少一个的第二输出产生至少一个的一第三输出以控制该制程工具。 |
