平台装置以及曝光装置

摘要

本发明关于一种用于载置晶圆等基板的平台装置以及具有该平台装置的曝光装置，其目的是能够轻松地提高吸盘上所吸附的基板的定位精度，且轻松地使基板从吸盘上脱离。该平台装置为一种在粗动平台的上方所配置的微动平台上，使用于吸附利用运送装置所运送的基板之吸盘，吸附面朝上而进行配置的平台装置，其特征在于：在前述粗动平台上，配置有当前述微动平台处于下降位置时，用于使前述基板从前述吸盘离开而向上方进行支持的支持构件。