电浆处理装置及阻抗调整方法

摘要

〔课题〕本发明系为提供可以调整电浆源侧之阻抗，并且可以消除装置间或是清理周期间之阻抗误差的电浆处理装置。〔解决手段〕本发明系针对在被分割为内侧电极38及外侧电极36之上部电极34与下部电极16之间产生处理气体的电浆后，于晶圆W上施予电浆处理之电浆处理装置，其系具有使高频电流朝向内侧电极38流入而被形成之共振电路101；被设置在供电至内侧电极38的供电线路上之可变电容器78；检测下部电极16之偏压VPP的检测器89；及在形成电浆的状态下，一边使可变电容器78之电容量变更，一边检测出来自检测器89的信号后，找出共振电路101之共振点，将共振点之可变电容器78的电容量调整为基准值之控制部102。