减少微尘产生之电浆蚀刻方法

摘要

一种减少微尘产生之电浆蚀刻方法，适于在基底中形成沟渠，其包括以一第一蚀刻条件，对一基底进行一第一蚀刻步骤，以及以一第二蚀刻条件，对基底进行第二蚀刻步骤，其中在第一蚀刻步骤与第二蚀刻步骤之间进行一转换步骤，于其中调整反应室压力条件、气体流量、电浆电源功率或反应室温度等环境参数至少其中之一，并使环境参数在蚀刻步骤与转换步骤之间的变化量小于15％，以维持反应环境之稳定，并可藉以避免微尘掉落。之后，在进行氧电浆清洁步骤时，更使反应室压力提升为40 mTorr至80 mTorr，进而避免球型缺陷之产生。