发明名称 | 薄膜电晶体之制造方法 | ||
摘要 | 本发明提供一种可有效简化薄膜电晶体制程,节省制程设备成本,提高生产良率之薄膜电晶体之制造方法,其包括如下步骤:提供一基板;对该基板进行清洗;利用雷射化学气相沉积之修补技术在基板上镀膜进行电路沉积。 | ||
申请公布号 | TW200620671 | 申请公布日期 | 2006.06.16 |
申请号 | TW093138294 | 申请日期 | 2004.12.10 |
申请人 | 群创光电股份有限公司 | 发明人 | 曾江弘;彭家鹏;林至成;吴泽 |
分类号 | H01L29/786 | 主分类号 | H01L29/786 |
代理机构 | 代理人 | ||
主权项 | |||
地址 | 苗栗县竹南镇新竹科学园区科学路160号 |