使用两固持系统之图案化的遮罩固持装置及方法

摘要

一种消除或实质上减少一图案产生器相对于一图案产生器固持装置之滑动的系统及方法，于一曝光操作之扫瞄部分期间。于第一及第二范例中，此动作之完成系藉由(a)持续地或(b)当需要时同时地使用第一及第二图案产生器固持系统以固持图案产生器至图案产生器固持装置。于这些范例中，第一图案产生器固持系统系利用一静电系统以吸引图案产生器至图案产生器固持装置，而第二图案产生器固持系统系利用一真空系统以吸引图案产生器至图案产生器固持装置。