形成压电致动器的方法

摘要

本发明系揭示具有压电致动器(104)之结构的微机电元件。压电岛部分可藉由将切口(145)形成在厚层压电材料中；将切口压电层(107)接附至一具有蚀刻特征之本体(200)；以及碾压该压电层至一小于切口(140)深度之厚度的方式形成。导电材料(158，210)可形成在压电层上以形成电极(106，112)。