| 摘要 |
本发明系提供一种加速度感测器，系以简单的构成，不会使感测感度降低，而使耐冲击性提升的3轴加速度感测器。于具有导电性的筐体10内，具备有：在一方的面具有固定电极的电极基板5；介由用来在与电极基板5之间设置特定时间隔之间隔件3，以与固定电极相对向的一方的面作为可动电极的振动板2：以及设置于振动板2的另一方的面之部的重物1，依据固定电极与可动电极之间的静电电容的变化，检测出彼此互相垂直的3轴方向之加速度的加速度感测器，覆盖由：以通过重物1的重心且与电极基板5垂直的第一轴作为中心的环状之第一固定电极；以及在互相垂直之同时，藉由与第一轴垂直的第二轴及第三轴相对而构成45度的角度之分割轴，各自分割为二的第二及第三固定电极所构成的固定电极的表面，于电极基板5设置驻极体层4。 |
