具质量负载之周围的薄膜体声响谐振器

摘要

本发明揭示了一种由中间夹有一压电材料之电极制成的谐振器结构(FBAR)。该等两个导电电极之相交界定了该声响谐振器的有效面积。将该有效面积划分为两个同心区域：一周围或框及一中心区域。将一环添加至两个导电电极中之一者以提高电性能(就Q而言)。