化合物半导体用锗添加源、使用它之化合物半导体之制法、及化合物半导体

摘要

本发明之目的系提供一种在对化合物半导体添加锗时，尤其是在欲得低电阻之掺锗的n型化合物半导体时之易于使用之锗添加源。本发明之化合物半导体用锗添加源，其特征为由有机锗化合物所构成。