混合稀土金属类氧化物、混合稀土金属类氟化物及使用此等之铈系研磨材料、以及此等之制造方法

摘要

本发明系提供研磨速度快速，经长期间可维持快速研磨速度，且制造步骤简单，廉价铈系研磨材料的制造方法。于1000℃的温度加热1小时之烧减量为乾燥质量基准之0.5质量％以下，且微晶径为200以上400以下，用于制造铈系研磨材料的混合稀土金属氧化物。又该烧减量以乾燥质量基准为3～15％，用于制造铈系研磨材料的混合稀土金属氟化物。又，自此等的混合稀土金属氧化物或混合稀土金属氟化物制造铈系研磨材料的方法，以及由其所得的铈系研磨材料。