防带电处理剂用水溶性组成物,防带电处理剂,使用该处理剂之防带电膜,被覆物品及图型之形成方法

摘要

本发明系提供在化学增强型光阻中膜变薄现象之防止优异之防带电处理剂，使用该防带电处理剂之防带电膜，被覆物品及图型形成方法。本发明系含有水系溶剂可溶性导电性高分子，2价以上之脂肪族硷性化合物及阴离子性界面活性剂之防带电处理剂，使用该防带电处理剂之防带电膜，被覆物品及图型形成方法。在水溶性导电性高分子方面，以具有布朗斯台德酸基之π共轭系导电性高分子为佳，2价以上之脂肪族硷性化合物相对于含有之硷性化合物之总莫耳数以在0.1～75莫耳％之范围内为佳。094132468-p01.bmp