高分子化合物、正型光阻组成物、及光阻图型之形成方法

摘要

本发明为提供一种光阻组成物，其为含有，具有酸解离性溶解抑制基之(α－低级烷基)丙烯酸酯所衍生之结构单位(a1)的高分子化合物，又，该结构单位(a1)为含有下述式(a1－0)所示之结构单位(a1－0)。094134017-p01.bmp〔式中，R为氢原子或低级烷基，R^1与R^2各自独立为低级烷基，R^3至R^6各自独立为氢原子或低级烷基，s为0或1至3之整数，t为1至3之整数，X为脂肪族环式基，其可具有由低级烷基与极性基所成群中所选出之至少1种的取代基，Y为极性基〕。094134017-p01.bmp