半导体装置制程状态管理的系统,其方法及其程式,管理伺服器,控制伺服器及制品的制造方法

摘要

本案提供一种制程状态管理的系统，其特征系具备复数装置；和将成为该复数装置中最少一部分之复数装置，一起加以控制的装置群控制伺服器；和具有将上述复数装置之个别之动作管理资料，与从上述装置群控制伺服器被送讯之管理资讯，加以连结之管理资讯连结部，并以共通之应用程式分析上述被连结之资料的管理伺服器；和收容上述被连结之资料的管理伺服器资料库。再者，本案亦提供适于上述系统的一种管理伺服器和一种控制伺服器，以及提供一种制品的制造方法。