| 摘要 |
本发明是在于提供一种即使检查对象的电路基板为具有微细间距的电极者，还是可以进行可靠度高的电性检查之电路基板的检查装置及电路基板的检查方法。中继插销元件31具备：中间保持板36、配置于第1绝缘板34与中间保持板36之间的第1支撑插销33、及配置于第2绝缘板35与中间保持板36之间的第2支撑插销37，且第1支撑插销对中间保持板的第1抵接支撑位置、第2支撑插销对中间保持板的第2抵接支撑位置会在投影于中间保持板的厚度方向的中间保持板投影面中配置于相异的位置。又，由利用雷射加工来形成的导电路形成部及使该等的导电路形成部互相绝缘的绝缘部所构成的第1异方导电性薄板22会在间距变换用基板23侧被一体化，而构成间距变换用转接器体60。或，在形成于基板73的复数个贯通孔中设置形成有绝缘部62及使绝缘部62往厚度方向贯通的导电路形成部61之中继基板29，供以中继间距变换用基板23与被检查电路基板1的电性连接。 |
