老化测试用之方法及老化测试用之量测程式

摘要

一种老化测试用之方法，包含步骤(a)及(b)。在步骤(a)中，经由设置在探针卡上之第一组探针执行第一半导体装置之操作测试。在步骤(b)中，当执行操作测试时，经由设置在探针卡上之第二组探针将应力施加至第二半导体装置。