| 摘要 |
一种磨光装置，具有磨光带(21)；供带卷盘(22)，其用于将该磨光带(21)供给至接触部(30)，该磨光带(21)在该接触部与该基板(10)之缺口部(11)接触；及收绕卷盘(23)，其用于卷收来自该接触部(30)之磨光带(21)。该磨光装置亦具有具备导引表面(241)之第一导引部(24)，用于将该磨光带(21)直接供给至该接触部(30)；及具备导引表面之第二导引部(25)，用于将该磨光带(21)供给至该收绕卷盘(23)。该第一导引部(24)之导引表面(241)及／或该第二导引部(25)之导引表面具有对应于该基板(10)之缺口部(11)的形状。 |
