预测化学机械研磨移除率及转换化学机械研磨制程之方法

摘要

本发明系关于一种预测化学机械研磨移除率及转换化学机械研磨制程之方法，其中预测化学机械研磨移除率之方法包括下列步骤：于一化学机械研磨制程机台中施行一第一化学机械研磨制程以得到一量测移除率；提供一转换系数；以及藉由上述转换系数乘上上述量测移除率以产生一预测移除率。