具有区域化应力结构的金属氧化物半导体之场效电晶体

摘要

本发明提供一种具有区域化应力结构的金属氧化物半导体之场效电晶体(MOSFET)。MOSFET主要包括位于源极与汲极区域上的高应力薄膜，且高应力薄膜未覆盖于闸极上，其中拉伸型式的应力薄膜用于在n型电晶体中，而压缩型式的应力薄膜使用于p型电晶体。本发明亦提供一种制造具有区域化应力结构的MOSFET之方法，主要包括下列步骤：形成具有闸极、源极与汲极之电晶体。接着在闸极、源极与汲极上形成高应力薄膜。然后移除位于闸极上的高应力薄膜，而留下源极与汲极上的高应力薄膜。最后在电晶体上形成接触蚀刻终止层。