切割脆性材料之方法及装置

摘要

本发明系关于一种切割脆性材料之装置，包括：一容器及一辐射束源。该容器系用以容置一脆性材料及一流体。该辐射束源系用以导引一辐射束进入该流体中，且沿着一预定切割路径冲击该脆性材料的表面。在切割过程中该脆性材料一直浸在该流体中，而可冷却该脆性材料以及避免加工过程裂缝和凸块的产生，因此当该脆性材料系为热敏感材料时，本发明可达成较佳之切割效果。此外，该流体能有效地带走剥蚀材料，对剥蚀速率的改善具有相当大的贡献。本发明另外关于一种切割脆性材料之方法。