摘要 |
Dispositif pour vaporiser un matériau et appliquer un matériau vaporisé sur un substrat (9) dans une enceinte à une pression réduite, comprenant :a) un distributeur de vapeur allongé (40) disposé dans l'enceinte et distant du substrat (9), le distributeur de vapeur (40) comprenant plusieurs trous d'évacuation de vapeur, formés dans une direction allongée du distributeur (40) pour délivrer un matériau vaporisé pour le dépôt d'une couche sur le substrat (9);b) au moins une source amovible d'évaporation (28), qui est disposée à l'extérieur de l'enceinte,c) un dispositif (43, 46) de distribution de vapeur pour la source d'évaporisation (28), qui est raccordé audit distributeur (40), des moyens de liaison (37, 38) pour le détachement ou le raccordement de ladite source d'évaporation (28) étant prévus à l'extérieur de l'enceinte.
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