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发明名称 FLIPPERRING APPARATUS FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 KR20060066248(A) 申请公布日期 2006.06.16
申请号 KR20040104785 申请日期 2004.12.13
申请人 HANMISEMICONDUCTOR CO., LTD. 发明人 KIM, YOUNG HYUN;RYU, GEUN CHANG
分类号 H01L21/68;H01L21/02 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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